阿斯麦工厂火灾初步影响评估:恐对 EUV 生产带来影响

该公司表示:「火灾发生在公司位于柏林的一处生产大楼,烟雾影响了邻近的一栋建筑的一部分」 … 而在 EUV 方面,火灾影响了我们 EUV 生产系统里的一个模块的生产区域 … 我们仍在致力于恢复该区域的生产计划,并将采取措施使火灾对 EUV 客户的潜在影响降至最低。

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